设备分类：实验室、研发型

该设备广泛的应用能胜任众多的需求。
除了SONOSCAN各种功能外，该设备还为用户开放了自定义空间，让用户使用起来更方便舒适，并帮助客户能够生产出高质量的产品。

主要功能：
 

• 带动态平衡块和线性马达驱动的扫描塔使得图像采集更清晰

• ESD操作台面，**人体工程学和防静电设计

• 简易装载台可容纳JEDEC托盘和300mm晶圆

• 精准的扫描台和样品固定架

• TurboSpeed加速扫描功能

• PolyGate功能，每个通道可设置多达100个Gate，能同时收集100层感兴趣的区域数据，包括能量、色谱、波形等，并生成100张图像

• Multi-Gate和Probing-Gate功能允许单层或多层聚焦成像

• SonoSimulator功能使薄层、多层样品分析变得容易，例如堆叠芯片

• STaR 模式能同时获得反射和透射两种图像

• Quantitative B-Scan Analysis Mode (Q-BAM)基于B-Scan提供切层的极性,幅值和深度数据

• 可选Digital Image Analysis (DIA)数字图像分析自动计算出缺陷大小、数目、多少和分布

• 可选Virtual Rescanning Mode (VRM)样品虚拟建模脱机扫描模式

• 可选Waterfall流水式探头和在线温度控制

• 可选FDI频域成像模式