产品资料
气相沉积设备ATS500
简介：

ATS500是一款灵活的电子束蒸发物**相沉积系统，适用于研发和生产。
产品详情

ATS 500设计用于OLED、有机电子应用、光伏、半导体器件、透镜和光学滤波器的研发和小批量生产。

系统特色是配有全彩触摸屏的PLC，集成了工艺菜单控制和数据记录功能，可以选配全电脑控制。


ATS 500提供广泛的工艺选项，包括：


  • 热阻蒸发源。
  • 温度控制蒸发源，用于OLED和有机光伏应用。
  • 电子束蒸发源，用于高速率蒸发。
  • 离子束辅助，用于光学应用或者基板清洗。
  • DC、RF和脉冲DC源，用于金属和电解质向上或者向下的溅射工艺。
  • 以上两
    个或者多个功能的混合系统


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