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  • SRO706Getter

技术参数
尺寸: 960x720x1340(长、宽、高)
工作高度: 950 – 1050mm 可调
重量: 240kg\
加热区域尺寸: 313x240mm
加热原理: 红外辐射
加热方式: 上、下双层红外灯管阵列排放, 石英管套在灯管外层起到保护作用
加热区域: 分6个区域由各自的PID控制
腔体门手动开关;自动上锁解锁
闭环式冷却水循环系统
功率: 19kW
电源: 3 x 400VAC 50/60Hz; 32A
加热板上方空间高度: 100mm
最高温450°C
均温性: 加热板面积的85%区域内 (加热板边缘往里15mm), 均温性< +/-2-3% 
氦漏率 < 5,0 x 10-9mbar x l/s
直径25mm前端可视窗
可选项
真空
•<5 x 10-2mbar, 机械干泵
•<5 x 10-6mbar, 机械干泵/分子泵
气体分析
•残余气体分析
•O2 监测
•湿气 (水) 监测
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