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  • Titan系统
Trion创建于1989年,是一家等离子刻蚀与沉积系统制造商
Trion为化合物半导体、MEMS(微机电系统)、光电器件以及其他半导体市场提供多种设备。 产品在业内以系统占地面积最小、成本低而著称,且设备及工艺的可靠性和稳定性久经考验。 从整套的批量生产用设备,到简单的实验室研发用系统,尽在Trion。
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Titan刻蚀/PECVD
Titan是一套用于半导体生产的十分紧凑、全自动化、带预真空室的等离子系统。
它具有反应离子刻蚀(RIE)配置、高密度电感耦合等离子沉积(HDICP)或等离子增强型化学汽相沉积(PECVD)配置。可对单个基片或带承片盘的基片(3”-300mm尺寸)进行高级处理。它还具有多尺寸批处理功能。价格适宜且占地面积小。

刻蚀应用:
砷化镓、砷化铝镓、氮化镓、磷化铟、铝、硅化物、铬以及其他要求腐蚀性和非腐蚀性化学刻蚀的材料。

沉积应用:
二氧化硅、氮化硅、氮氧化物和其他各种材料。



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