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  • CTS-6U

 

top half cts1CTS-6U 6kW 微波等离子金刚石CVD系统具有高度可重复的真空完整性设计特点,能够在接近大气压范围内运行,用于高沉积速率的单晶工艺。它还可以合成高纯度的高均匀性和大面积的单晶和多晶。腔室、观察窗和沉积台的设计与先进的计算机过程控制相结合,具有无人值守的安全互锁功能,可以获得高可靠性、长时间稳定性。CTS-6U是最新一代CVD金刚石反应器,专为满足高产量、高质量、高性价比的生产和先进的研发要求而设计。