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FACTSTM
设备分类：生产型
该系列设备为质量控制及工艺过程监测提供先进、高效的自动超声扫描检测方案。只需操作人员调用预先设置好的程序，做极少的操作步骤，即可每小时检查高达数千块集成电路元件。不一样的在线轨道设计可与上下站点相连，通过SMEMA通讯端口与上下站点设备通讯，并作为在线生产过程的一个环节实施无损检测和失效分析。另外，FACTS2亦可处理多层陶瓷、电容、倒装芯片及其他组件。
特色功能：
- 特有的水杯设计，让探头和样品无需浸没水中即可完成扫描
- 独特的飞轮传动和平衡块设计大大提高了扫描速度和生产效率。
- DIATM数字图像分析自动计算出缺陷大小、数目、多少和分布
- 10+种独有注册专利的扫描方式，自由应对众多产品缺陷
- 特有STaRTM 模式能同时获得反射和透射两种图像
- 灵活度高，可以在线或是独立使用
- 在线通讯可以与SMEMA接口兼容
- 配备有三套气刀及干燥系统
- 控制选项可维持精确水温
