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FACTS
设备分类：生产型
该系列设备为质量控制及工艺过程监测提供可靠高效的自动超声扫描检测方案。只需操作人员调用预先设置好的程序，做极少的操作步骤，即可每小时检查大批量集成电路元件。不一样的在线轨道设计可与上下站点相连，通过SMEMA通讯端口与上下站点设备通讯，并作为在线生产过程的一个环节实施无损检测和失效分析。另外，FACTS2亦可处理多层陶瓷、电容、倒装芯片及其他组件。
主要功能：
- 水杯设计，让探头和样品无需浸没水中即可完成扫描
- 飞轮传动和平衡块设计大大提高了扫描速度和生产效率。
- DIA数字图像分析自动计算出缺陷大小、数目、多少和分布
- 丰富多种的扫描方式，可以应对众多产品缺陷
- STaR模式能同时获得反射和透射两种图像
- 灵活度高，可以在线或是独立使用
- 在线通讯可以与SMEMA接口兼容
- 配备有三套气刀及干燥系统
- 控制选项可维持精确水温
