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  • Gen6

\Gen6TM
 

设备分类:实验室、研发型

该设备独有的先进技术和人体工程学设计让超声显微成像系统得以发挥出更高的水平。
它广泛的应用能胜任各种各样的需求。不管是电容、倒装芯片、叠层晶元、BGA、PCB...还是制程优化、研发、失效分析、军工或小批量生产等,它都能满足需求。先进的SONOSCAN技术如 VRMTM样品虚拟建模脱机扫描模式、加速扫描、FDITM频域成像模式等让超声显微成像技术的优势日趋明显。
除了SONOSCAN各种先进功能外,该设备还为用户开放了自定义空间,让用户使用起来更方便舒适,并帮助客户能够生产出更高质量的产品。


特色功能:
 

  • 带动态平衡块和线性马达驱动的扫描塔使得图像采集更清晰

  • ESD操作台面,完美人体工程学和防静电设计

  • 简易装载台可容纳JEDEC托盘和300mm晶圆

  • 基于64位win 7操作系统,支持多国语言

  • 精确的扫描台和样品固定架

  • TurboSpeedTM加速扫描功能

  • PolyGate™ 功能,每个通道可设置多达100个Gate,能同时收集100层感兴趣的区域数据,包括能量、色谱、波形等,并生成100张图像

  • Multi-Gate™和Probing-Gate™功能允许单层或多层聚焦成像

  • SonoSimulatorTM 功能使薄层、多层样品分析变得容易,例如堆叠芯片

  • 特有STaRTM 模式能同时获得反射和透射两种图像

  • Quantitative B-Scan Analysis Mode (Q-BAM)™ 基于B-Scan提供切层的极性,幅值和深度数据

  • 可选Digital Image Analysis (DIA)™数字图像分析自动计算出缺陷大小、数目、多少和分布

  • 可选Virtual Rescanning Mode (VRM)™ 样品虚拟建模脱机扫描模式

  • 可选Waterfall™ 流水式探头和在线温度控制

  • 可选FDITM频域成像模式

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