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  • Auto500GB

Auto500 GB 适合手套箱集成的真空镀膜系统
 
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Auto500GB是专门设计用于手套箱集成使用的镀膜设备,满足氧气或水汽敏感的材料镀膜的应用要求。该系统配了一个特殊结构的真空腔室,可直接与市场上大多数手套箱集成到一起。真空腔室的前门可竖直滑动开关,嵌入手套箱内,并占用最少的手套箱空间;其后门是铰链扇式开关,能在不影响手套箱内气氛的情况下轻松维护腔室内工艺组件。
 
镀膜源选项包括热阻蒸发源、精密控温的有机蒸发源、磁控溅射源以及电子束蒸发源。

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