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  • Auto500

Auto500 适合研究开发需求的多功能系统平台
 
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Auto500是一套多功能的真空镀膜系统平台,主要用于科学研究、技术开发或试生产。其真空腔室采用了前开门的箱式设计,可以容纳大尺寸样品。通过可选择的设备配置能分别实现热阻蒸发、电子束蒸发及磁控溅射等各种物理气相沉积工艺,甚至也可以将前面三种镀膜工艺同时组合在一台设备里。
 
真空腔室安放在内部装载有真空泵系统的基座上。系统的真空系统由触摸屏操作显示的PLC自动控制。PLC显示操作面板以及其他工艺附件的控制面板都集中安装在真空腔室旁边的19”标准控制机柜上,操作十分方便。
 
Auto500既可以只配置单个镀膜源,也可以配置成多个不同的镀膜源,其工艺配置灵活性非常高,并且也很容易进行现场升级。
 
Auto500还可以配置一系列样品承载台,可实现样品旋转、倾斜、加热、冷却、偏压等。
 
真空系统可选无油干泵、分子泵及低温冷凝泵等。

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