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  • UEFC-4900/5700

UEFC-4900和UEFC-5700具有极限均匀性及超高材料利用率的大型生产设备
 
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Temescal精密镀膜系统凝聚了60多年Temescal人的电子束蒸镀经验,运用了许多核心专利技术,具有业内无以伦比的性能。Temescal的科学家用了十几年的时间致力于研究和理解蒸气流量云的动力学。通过无数次测试及研究,Temescal收集了大量蒸气云图,并利用这些云图实现蒸镀均匀性修正的自动化设计。而如今应用了Auratus薄膜沉积优化方法论的UEFC系列电子束蒸镀系统,正是代表了Temescal精密镀膜技术的一个新巅峰!
 
这些UEFC系列电子束蒸镀系统具有特有的圆锥形腔室设计,与传统的箱式腔室相比,减少了无用的腔室空间及表面积,缩短了抽真空的时间,也缓解了腔室内的薄膜碎片积累问题,具有显著的优势;这些系统还配置了Temescal专利的高均匀性Lift-off基片载具(HULA),采用极其精密的双轴运动,确保所有的晶圆在蒸气云的高密度区和低密度区停留相同的时间,从而使各种工艺材料在系统内都能获得杰出的沉积均匀性;这些系统继承了Temescal著名的FC系列设备的独一无二的腔室隔离真空锁设计,具有最快的工艺周期、最短的生产等待时间和最高的工艺产出。

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应用了革命性技术的UEFC-5700和UEFC-4900,在150mm晶圆制造领域,具有超过业内其他品牌同类设备至少2倍以上的产能效率,并且可以显著减少贵重蒸镀材料的消耗,为用户获得高达40%的材料成本节省!这些优势都已被世界顶尖的IDM半导体制造公司以及专业代工厂所认可和证实。

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