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  • UEFC-4900/5700

UEFC-4900和UEFC-5700 
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Temescal精密镀膜系统凝聚了Temescal的科学家用了十几年的时间致力于研究和理解蒸气流量云的动力学。通过无数次测试及研究,Temescal收集了大量蒸气云图,并利用这些云图实现蒸镀均匀性修正的自动化设计。而如今应用了Auratus薄膜沉积优化方法论的UEFC系列电子束蒸镀系统,可靠性更好。
 
这些UEFC系列电子束蒸镀系统具有圆锥形腔室设计,与传统的箱式腔室相比,减少了无用的腔室空间及表面积,缩短了抽真空的时间,也缓解了腔室内的薄膜碎片积累问题;这些系统还配置了Temescal的高均匀性Lift-off基片载具(HULA),采用精密的双轴运动,保障所有的晶圆在蒸气云的高密度区和低密度区停留相同的时间,从而使各种工艺材料在系统内都能获得优秀的沉积均匀性;这些系统继承了Temescal FC系列设备的腔室隔离真空锁设计,具有快的工艺周期、短的生产等待时间和高的工艺产出。

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UEFC-5700和UEFC-4900,在150mm晶圆制造领域,具有很高的产能效率,并且可以帮助减少贵重蒸镀材料的消耗,节省用户材料成本。


 



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