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  • FC-3800/4400

FC-4400和FC-3800 面向Lift-off应用优化的、真空锁结构的大型生产设备
 

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Temescal系统是为最高效率、高精准镀膜产能而设计的生产型设备。这个指导原则支配着Temescal整个产品线的设计思想。由于杰出的均匀性、精确度和可靠性,Temescal系统已经被全球领先的化合物半导体晶圆厂及代工厂使用了数十年。Temescal经典系列系统具有被制造商及科学家所信赖的传统设计:优秀的特色性能、强大的生产能力和高均匀性。
 
FC-3800和FC-4400是适用于洁净室的、真空锁结构的系统,专门面向lift-off工艺的大生产应用。这些镀膜机为连续高效的运行而设计,并提供高均匀性的薄膜沉积。FC-3800的源基间距为34”(965mm),而FC-4400的源基间距为42”(1067mm)。这两款系统都可配置成独立机台或穿墙式洁净室安装,也都支持镀膜源、材料进给、加热、清洗等附件的各种组合。

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