首页 > 产品中心 > TEMESCAL精密电子束蒸发镀膜系统
  • FC/BCD-2800

FC-2800和BCD-2800 中型生产设备或大尺寸晶圆研发用设备
 
\

Temescal系统是为更高效率、高精准镀膜产能而设计的生产型设备。这个指导原则支配着Temescal整个产品线的设计思想。Temescal经典系列系统符合人性化设计,具备强大生产能力和高均匀性。
 
FC-2800和BCD-2800是适合洁净室使用的镀膜机,具有高效生产的特点。它们的源基间距可选34”(866mm) 或者42”(1067mm),适合lift-off工艺。这两款系统都可以配置成独立机台或者穿墙式洁净室安装,都支持镀膜源、材料进给、加热、清洗等附件的各种组合。



文件下载