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  • FC/BCD-2800

FC-2800和BCD-2800 中型生产设备或大尺寸晶圆研发用设备
 
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Temescal系统是为最高效率、高精准镀膜产能而设计的生产型设备。这个指导原则支配着Temescal整个产品线的设计思想。由于杰出的均匀性、精确度和可靠性,Temescal系统已经被全球领先的化合物半导体晶圆厂及代工厂使用了数十年。Temescal经典系列系统具有被制造商及科学家所信赖的传统设计:优秀的特色性能、强大的生产能力和高均匀性。
 
FC-2800和BCD-2800是适合洁净室使用的镀膜机,具有高效生产的特点。它们的源基间距可选34”(866mm) 或者42”(1067mm),适合lift-off工艺。这两款系统都可以配置成独立机台或者穿墙式洁净室安装,都支持镀膜源、材料进给、加热、清洗等附件的各种组合。