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  • FC/BJD-2000

适合小批量生产和研发应用的Temescal BJD-2000和FC-2000

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BJD-2000和FC-2000系统是通用型蒸发镀膜设备,通过选用不同的附件配置,适合几乎所有应用要求。除了高效运行和兼容洁净室的特点,这些系统还具有最大的灵活性,以方便使用。其中FC-2000是一款具有快速工艺周期能力以及真空锁结构的系统,可以在装卸基片时让电子束蒸发源保持在高真空状态。而BJD-2000则没有真空锁结构。
 

虽然是Temescal产品家族里最小型的设备,但同样具有Temescal最先进的设计思想,也拥有与大型生产设备一样的高稳定性、高可靠性以及易维护性的特点。为了满足用户对未来产能提升的要求,BJD-2000和FC-2000还可以在现场升级成更高产能的2800系列系统。

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