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扩散,退火,LPCVD工艺炉
英国Thermco Systems公司成立于1962年,是世界上最著名的卧式扩散炉、氧化炉、退火炉、合金化炉及LPCVD炉的制造商,在全球各处的半导体制造厂里都有大量的安装应用,迄今为止安装记录已超过20000管。 根据基片尺寸以及产量要求的不同,HTR系列可分为大批量生产型5100/5200系列(6英寸)、科研型2400系列(4英寸)/2600系列(6英寸)/2800系列(8英寸)等;可处理4"~10"的基片,每管处理能力分别可达25片、50片、100片及更多;根据配置不同的工艺气源及温度控制范围,各型号的产品均可用于LPCVD、扩散及氧化等热处理反应工艺。