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TEMESCAL精密电子束蒸发镀膜系统
美国Temescal成立于1952年,主要提供可靠的精密镀膜系统以及电子枪组件。Temescal在精确控制材料蒸气云分布方面拥有丰富的经验与技术,典型材料如钛、铂、金、钯、银、镍、铝、铬、铜、钼、锡、二氧化硅、氧化铟锡,可获得优秀的薄膜沉积均匀性和一致性。 Temescal的工艺实现能力包括:高均匀性多层膜系工艺设计,可靠的电子枪及控制电源,洁净无油真空系统,适合量产的真空锁腔室结构,高精密工件架,全自动薄膜工艺控制系统等等。